大面积、高致密、低缺陷SiC膜层CVD制备技术

    本单位生产碳化硅陶瓷手臂，碳化硅陶瓷托盘、碳化硅真空吸盘等高精密部件，用于IC制造行业的硅片传输及关键制程用晶圆的承载，为IC制造业提供技术支撑。

    碳化硅陶瓷材料具有低膨胀、高导热，高弹性模量等特点，本单位生产的真空吸盘采用中空、不对称薄板结构设计，产品具有高稳定性、高轻量化及极低的晶圆接触面积等特点；多孔吸盘可调整孔隙结构及孔隙率满足不同工艺要求，产品具有良好的耐化学腐蚀性，目前真空吸盘及多孔吸盘已经应用于IC制造行业的各个环节。